激光衍射法细圆柱体直径测量系统

摘要：

为了提高激光衍射法细圆柱体直径测量精度,根据光波的矢量特性建立了矢量测量模型,提出了一种衍射花样处理方法,并研制了相应的测量系统。采用面阵CCD接收衍射花样,并使用二维零相位滤波器、最小二乘法等方法对其进行处理。运用该装置测量细圆柱体直径时,克服了传统方法测量细圆柱体直径时的原理误差,提高了测量精度。细圆柱体直径测量实验结果表明,基于改进模型的光学衍射法的相对测量误差在0.5％以下,优于目前1％的水平。

关键词： 激光衍射 细圆柱体直径 矢量模型 测量系统

作者: 崔建文 高振国 张晗

作者单位: 哈尔滨工程大学 自动化学院,黑龙江 哈尔滨 150001 哈尔滨医科大学 口腔医学院,黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 63-66

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）