移相式泰曼型CO2激光干涉仪的研究

摘要：

研究了移相式泰曼型红外干涉仪的工作原理以及仪器的整体设计,讨论了透射光学元件的材料选取问题,对仪器的扩束系统、成像系统进行了理论分析和设计,以及对光源和红外探测器等一些关键器件进行了设计分析。解决了红外干涉仪调试这一技术难点。测量了精磨粗糙平面和球面的面形,结果表明:粗糙平面的面形偏差为0.047λ(PV),而相糙球面的面形偏差则为0.420λ(PV)(λ=10.6μm)。

关键词： 激光干涉仪 调试器 面形测量 偏差

作者: 贺俊 王青 高志山 陈磊

作者单位: 南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210014 南京北方信息产业集团,江苏 南京 210022 南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210014

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 55-59

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）