短相干光源偏振移相Fizeau干涉仪的实验研究

摘要：

研究了一种偏振移相Fizeau干涉仪,以中心波长为650nm的多纵模半导体激光器作为光源,利用光源短相干特性和一套偏振延迟装置分出一对偏振方向正交参考光和测试光,采用巴比列-索列尔补偿器作为偏振移相器,采集四幅移相干涉图按照传统移相算法图,测试了一块平行平板的前表面面形。PV值为0.0682λ,RMS值为0.0127λ。该方法的优点是移相精度高,移相时无须推动参考镜,可适用于大口径系统的干涉测试,同时消除了多表面干涉杂散条纹的影响。

关键词： 光干涉计量 偏振移相器 Fizeau干涉仪 巴比涅-索列尔补偿器 干光源短相干 半导体激光器

作者: 徐晨 陈磊 左芬

作者单位: 南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 26-29

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）