工件面形的精确测量仿真

摘要：

对于高精度加工,工件的微小面形偏差的精确测量非常重要。比较了微小面形的两类光学测量仪器,重点介绍了瞬态干涉测量方法。分析了干涉测试中相位展开方式,并将其应用于工件面形的测量中,用单张干涉图实现干涉波前的恢复,获取工件的面形信息。利用GLAD软件进行仿真,模拟了干涉仪对工件面形测量得到的波面干涉条纹图,并利用相位展开方法,读入干涉图样,进行工件的面形重构,获得了初步的仿真测量结果。对比了波面重构前后的工件面形,分析了重构面形失真的原因。

关键词： 工件面形 光学测量 瞬态干涉测量 相位展开 GLAD软件 模拟仿真

作者: 易亨瑜 胡晓阳 陈门雪 王文东 郑为民

作者单位: 中国工程物理院 应用电子学研究所,四川 绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 19-22

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）