复色差动共焦扫描测量方法

摘要：

提出复色差动共焦扫描测量方法,引入复色光照明,利用复色光聚焦的轴向色散特性,形成两个部分重叠的测量区域,获得两个可交替工作的具有双极性跟踪特性的线性测量区,实现轴向量程扩展。仿真结果表明,在不牺牲系统分辨力前提下,所提出的方法使轴向量程扩展1倍,并保留传统差动共焦测量能够抑制共模噪声的优点,为解决精密微沟槽机械元件、微光学元件和微光机电元件等大台阶精密微结构元件结构参数测量提供一种新的测量方法。

关键词： 差动共焦 复色光聚焦 微结构元件 扫描测量法 轴向色散

作者: 刘俭 谭久彬 胡斌 张大庆 王宇航

作者单位: 哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 90-93

在线出版日期: 2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）