基于空间载频外差干涉术的大曲率零件面形检测研究
主要研究了一种非接触检测大曲率半径光学零件表面面形的方法,提出了在平面干涉仪上运用空间载频外差干涉术进行面形检测。该方法通过对在平面干涉仪上得到的干涉图的处理和分析,得到了被测面相对指定标准球面的面形偏差,并模拟出球面干涉仪检测时的干涉条纹,克服了接触检测的缺点,为高精度、大曲率半径光学零件表面面形的检测提供了一种适用的方法。
大曲率球面 面形检测 空间载频外差干涉术 Zernike多项式 干涉条纹 模拟分析
刘贱平 梁丽萍 金世龙
国防科学技术大学 光电科学与工程学院,湖南 长沙 410073
国内会议
西安
中文
49-52
2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）