微深孔测量方法
为了解决微深孔的精密测量问题,提出了一种基于双光纤耦合原理的微深孔测量方法。该方法通过双光纤耦合器及显微物镜将光纤传感器触测头在微深孔内的微小位移量转变为CCD图像捕捉系统的横向位移量,图像空间定位算法得到CCD上的光斑中心位置;由CCD上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器触测头在孔内部与孔壁的接触状况,从而实现对被测孔测量时的高精度瞄准;配合测长装置实现对微深孔的精密测量。最后运用该方法实现了对直径为Ф0.2mm、深2.0mm深盲孔的测量,并对直径为Ф0.3mm、深1.0mm的微深孔的圆柱度进行了测量。
微深孔 测量方法 双光纤耦合器 光纤传感器 定位算法
崔继文 谭久彬
哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150001
国内会议
西安
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2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）