二维PSD动态响应误差分析
针对光源连续扫描位置敏感器(PSD)时,PSD产生的动态响应误差随扫描速度的不同而发生变化的问题,基于二维四边型PSD,建立光源扫描照射下PSD动态响应模型,仿真分析得到了不同光源扫描速度下,PSD动态响应误差的分布,光源扫描速度越快,PSD动态响应误差越大。最后对影响动态响应误差分布的两个主要因素进行了分析。建立的二维PSD动态响应模型及仿真结果为PSD器件的实际工程应用提供了一个有效的依据。
位置敏感器 动态响应误差 仿真分析 扫描速度
尚鸿雁
海事大学 电气与自动化系, 上海 200135
国内会议
西安
中文
302-305
2008-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）