微硅加速度吉WGA-1

摘要：

本文主要论述了一种新型的双梁摆式微型硅加速度计的工作原理,并对研制这种加速度计的关键工艺进行了探讨研究,同时对研制出的加速度计进行测试分析.

关键词： 电容传感器 静电力平衡 静电键合 硅加速度计

作者: 马晓华 郝跃

作者单位: 航天科技集团公司十六研究所 西安电子科技大学微电子所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 173-175

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）