用AP-MOCVD法在炭纤维上制备Fe薄膜

摘要：

采用大气开放式金属有机化合物化学气相沉积方法(AP-MOCVD),以二茂铁为前驱体,在炭纤维表面制备Fe薄膜。使用X射线衍射仪和扫描电镜分别分析了Fe薄膜的结构和形貌。系统考察了沉积温度,氢气流量,前驱体升华速率对Fe薄膜生长的影响。结果表明,没有氢气或者氢气流量过高(达到200sccm)均不能获得结构均一的薄膜。前驱体升华速率过高,会使铁薄膜生长过快且表面粗糙。此外,膜表面会产生灰分。因此,优化以上三个工艺参数是制备均匀、界面结合良好的Fe薄膜的关键。

关键词： 铁薄膜 炭纤维 AP-MOCVD法 化学气相沉积法

作者: 罗京华 罗瑞盈 张伟刚

作者单位: 北京航空航天大学理学院,北京 100083 中国科学院 过程与工程研究所,北京 100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 748-753

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）