含氢类金刚石膜的场发射性能研究
采用大功率高重复频率准分子激光在氢气氛中溅射热解石墨靶制备了含氢类金刚石膜,研究了含氢类金刚石膜的结构及场发射性能。发现在氢气中沉积的类金刚石膜中的sp3键碳的含量随着氢气压强的提高而增多,氢原子进入膜中使膜的微结构发生变化,光学性能得到提高。场发射测试结果表明,含氢类金刚石膜的电子发射属于场致发射过程,在1010W/cm2功率密度下沉积膜的发射阈值电场由无氢时24V/μm分别下降到19V/μm(10Pa H2)和13V/μm(20Pa H2),108W/cm2的功率密度下沉积膜的发射阈值电场由无氢时37V/μm下降到25V/μm(10pa H2)。相应地,电流密度也有提高。根据含氢类金刚石膜的沉积机理和场发射模型对上述结果进行了分析、解释。
脉冲激光沉积 金刚石膜 场发射 含氢类金刚石膜
彭鸿雁 夏义本 赵立新 罗玉杰 陈玉强 陈宝玲 徐闰 黄健 徐金勇 王林军
牡丹江师范学院,牡丹江 157012 上海大学材料科学与工程学院,上海 200072 上海大学材料科学与工程学院,上海 200072 牡丹江师范学院,牡丹江 157012
国内会议
桂林
中文
562-565
2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）