热解氮化硼

摘要：

本文系统地介绍了热解氮化硼材料的制备工艺、结构表征、沉积机理和影响热解氮化硼制备的关键工艺参数,重点对BN的沉积机制和反应机理进行了综合分析,对热解氮化硼的相关性能和应用作了介绍及对制备工艺、沉积机理研究中的一些问题提出了研究思路。

关键词： 热解氮化硼 化学气相沉积 沉积机制 反应机理

作者: 许力 白朔 吴峻峰 成会明

作者单位: 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室,辽宁 沈阳 110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 91-100

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）