压电式微定位机构及其控制系统的研究

摘要：

研究、设计了一种以柔性铰链为导向元件、压电陶瓷为驱动器的微定位机构,给出了机构的动力学模型。结合检测装置和微机控制系统,设计并研制了基于前馈控制同数字PID反馈控制相结合的复合控制的微定位系统。实验表明,微定位系统定位行程可达100μm,定位分辨力0.01μm。

关键词： 微定位机构 压电陶瓷 柔性铰链 数字PID控制 前馈控制 动力学模型

作者: 孙宝玉

作者单位: 长春工业大学机电学院 长春 130012

会议类型: 国内会议

会议名称: 吉林省第四届科学技术学术年会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 325-328

在线出版日期: 2006-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）