超高频体模式MEMS谐振器的传感电路设计

摘要：

本文针对体模式谐振器激励和响应信号的特点,设汁集成了激励信号产生电路和微弱信号检测电路的系统解决方案。系统通过对谐振器的扫频激励和检测扫频时谐振器的输出电流信号的幅度特性,可以准确的找到谐振器的谐振频率。具有宽频谱范围(20Khz到100Mhz),宽动态范围(几微安到几十个微安),很高Q值(可以达到100000)特性和细频率分辨的特性。为了有效测量谐振器产生的高频微弱位移电流信号,系统设计使用频谱搬移的测量方法。该方法通过把包含在高频信号中的有效信息搬移到低频端米进行信号的滤波放大处理,可以提高信号抗噪声的能力,实现对微安量级的电流放大检测。对系统的Simulink模型建模仿真可以有效的分析系统的特性。

关键词： 谐振器 频谱搬移 测量方法 电路设计

作者: 章新春 张云峰 赵建业 于晓梅

作者单位: 北京大学信息科学技术学院 北京 邮编 100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第二十届电路与系统学术年会暨2007年港澳内地电子信息学术研讨会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 559-562

在线出版日期: 2007-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）