微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备

摘要：

由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明:CVD金刚石薄膜可以有效降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度比提高薄膜的纯度更有利于提高LED的散热效果。

关键词： 微波加热 CVD 化学气相沉积 散热片 LED 金刚石薄膜 薄膜技术

作者: 满卫东 孙蕾 汪建华 谢鹏

作者单位: 武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430073

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国微波能应用学术会议暨2007年国际工业微波节能高峰论坛

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 316-318

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）