CVD金刚石薄膜的形核研究

摘要：

本实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为:微波功率3000W,工作气压8.0kPa,H2流量100sccm,基片温度约为900℃,处理时间为10～15min);以及在衬底上镀上复合过渡层的预处理方式能够抑制低温低气压条件下碳的石墨化趋向和提高膜、过渡层、衬底三者之间的结合力,进而可以有效地提高和改善金刚石膜的形核密度和质量。

关键词： 微波化学气相沉积 形核 金刚石薄膜

作者: 黄建良 汪建华

作者单位: 武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室,武汉 430074 武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室,武汉 430074 中国科学院等离子体物理研究所,合肥 230031

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国微波能应用学术会议暨2007年国际工业微波节能高峰论坛

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 312-315

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）