微波等离子体CVD法制备金刚石薄膜涂层钻头
在微波等离子体CVD中,在直径为0.8mm硬质合金钻头上进行沉积金刚石涂层的研究。在沉积前,用硝酸(HNO3:H2O=1:4)腐蚀60s,以去除表面的Co。在金刚石涂层沉积过程中,钻头尖端在微波电磁场中产生辉光放电现象,导致钻头尖端刃部很难获得金刚石涂层。通过使用金属丝屏蔽的方法改变钻头周围的微波电磁场分布,成功地采用微波等离子体CVD法在钻头上沉积出了金刚石涂层。用扫描电子显微镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和激光拉曼光谱对基体和薄膜进行了表征。结果表明,金刚石薄膜表面比较光滑,晶粒尺寸较小,涂层质量良好;在铝基复合材料上钻孔测试表明,薄膜的附着力也较高。
金刚石薄膜 钻头 涂层刀具 微波加热 等离子体涂层 CVD 化学气相沉积
谢鹏 汪建华 满卫东 王传新 孙蕾
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430074
国内会议
第十三届全国微波能应用学术会议暨2007年国际工业微波节能高峰论坛
长沙
中文
309-311,318
2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）