MPCVD谐振腔内电磁场分布的数值模拟

摘要：

采用时域有限差分算法对MPCVD装置谐振腔中电磁波的分布进行了数值计算;推导出麦克斯韦方程在谐振腔内电磁场分布的数学模型;采用Ansoft软件对腔体中的电磁分布进行了模拟。根据模拟的电场形状以及其它相关的数据,判断此时反应器的形状和性能。 数值模拟结果表明:空腔有3个大小相近的电场均匀区域,谐振腔的固有品质因素相对较高。计算模拟结果与实验结果较吻合,验证了计算和模拟的正确性,为设计利用MPCVD技术沉积金刚石薄膜的谐振腔提供了参考依据。

关键词： MPCVD 谐振腔 电磁场分布 数值模拟 反应器

作者: 刘繁 汪建华

作者单位: 武汉工程大学材料科学与工程学院,湖北省等离子体化学与新材料重点实验室,武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国微波能应用学术会议暨2007年国际工业微波节能高峰论坛

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 275-276

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）