新型等离子波槽形波导结构

摘要：

本文分析了一种利用等离子波的新型亚波长槽形波导结构,该结构横向上利用金属-介质-金属(MIM)结构激励出等离子波来限制场,在纵向上用三层介质波导结构来限制场。采用全矢量有限差分方法分析了该结构的内在特性,异质金属墙结构可以大大减少损耗,在芯层尺寸结构200nm×800nm时,其传播长度可以达到35.8μm,而横向模式尺寸为200nm,两者之比超过170。该结构在纵向上有较强的场限制特性,为小尺寸高度集成光学器件提供了一种新的结构。

关键词： 等离子波 亚波长 槽形波导结构 集成光学器件 全矢量有限差分法

作者: 陈献 郝寅雷 杨建义 王明华 江晓清

作者单位: 浙江大学信息与电子工程学系,浙江杭州 310027

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 541-547

在线出版日期: 2007-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）