集成MZI光波导生化传感平台研究
本文提出了一种基于马赫-泽德干涉仪的集成光波导传感平台研究方案。对该传感平台的设计、制备和敏感机制进行了介绍,对其折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟。同时,对面临的关键问题进行了分析和讨论。
马赫泽德干涉仪 光波导传感 渐逝场 折射率 相位差
吴远大 安俊明 王玥 尹小杰 张家顺 李建光 王红杰 胡雄伟
中国科学院半导体研究所光电研发中心 北京912信箱,100083
国内会议
南京
中文
332-336
2007-11-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)