ESEM中裙散电子对微区元素定量分析结果的影响

摘要：

目的:探讨裙散电子对能谱微区分析结果的影响。方法:在不同工作距离和样品室气压下,测定高纯铜板不同位置处铜元素与样品台元素的含量。结果:低真空和环境状态下进行微区分析,裙散的影响范围可达毫米量级以上。结论: 环境状态下进行微区或颗粒分析,应尽量采用短工作距离和高真空度。

关键词： 环境扫描电镜 裙散电子 能谱微区分析 定量分析

作者: 权养科 陶克明 李明东 刘玲利

作者单位: 公安部物证鉴定中心,北京,100038 江苏省公安厅物证鉴定中心,南京,210024

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国化学会第25届年会——公共安全化学分会场

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 16-19

在线出版日期: 2006-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）