固支梁结构的电容式RF MEMS 开关的机电耦合模拟

摘要：

用ANSYS 有限元分析软件对RF MEMS 开关的三种基本固支梁结构模型进行了机电耦合模拟.通过对开关进行一系列的静态、谐振态、模态以及瞬态分析,讨论了采用不同桥膜结构的开关的激励电压、固有频率,阻尼Q 因子、开关时间的变化.并结合基本结构的分析数据设计了一种曲臂折合式的桥膜结构,从理论上验证了此结构在同等框架体积下,具有更低的模拟下拉电压、共振频率,开关时间,以及更稳定的工作模态.

关键词： 机电耦合 力电耦合 固支梁 有限元分析 桥膜结构 激励电压 固有频率 共振频率

作者: 刘肖 伞海生 陈旭远

作者单位: 厦门大学物理与机电工程学院,福建 厦门 361005;厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建 厦门 361005

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国振动理论及应用学术会议暨中国振动工程学会成立20周年庆祝大会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 2450-2456

在线出版日期: 2007-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）