利用光刻技术研制雾化器的金属微孔阵列

摘要：

金属微孔在许多领域内有着巨大的需求，电火花、激光打孔、化学腐蚀及光刻等技术被开发用于各种需求的金属微孔加工。迷你雾化器产品需要有一定锥度的金属微孔片，满足该产品的需要，利用光刻和电镀技术完成了该雾化器特殊金属微孔结构的制造。该方法加工的金属片厚50μm，微孔尺寸5μm，分布均匀，雾化颗粒小，雾化效果好，满足了微孔雾化器的特殊需要。

关键词： 金属微孔阵列 微孔雾化器 光刻技术 加工工艺

作者: 伊福廷 张菊芳 侯凤杰

作者单位: 中科院高能物理研究所 北京 100049

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国机械工程学会年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

在线出版日期: 2007-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）