屏蔽模板随动式微细电铸技术

摘要：

介绍屏蔽模板随动式微细电铸技术，该技术利用屏蔽模板动态的限制电沉积的区域，利用低深宽比的屏蔽模板加工高深宽比的金属微结构，并且不存在去胶等难题，是一种简单易行、低成本的金属微结构制造方法。

关键词： 微细电铸 屏蔽模板加工 高深宽比 金属微结构

作者: 曾永彬 朱荻 曲宁松 胡洋洋 明平美

作者单位: 南京航空航天大学 南京 210016 河南理工大学 焦作 454000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年中国机械工程学会年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

在线出版日期: 2007-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）