红外焦平面的破坏性物理分析

摘要：

红外焦平面探测器的生产和应用日益增多,但产品的成品率和质量一致性是困扰研制单位的难题。本文针对红外焦平面的结构和工艺特点,利用破坏性物理分析(DPA)在质量检验方面的独特优势,探索性地提出了DPA的分析程序和项目。

关键词： 红外探测器 焦平面探测器 破坏性物理分析 质量检验 分析程序

作者: 杨少华

作者单位: 信息产业部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用国家级重点实验室 广州 510610

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 四川都江堰

会议语种:中文

页码: 15-18

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）