洁净度等级分级与标识
分析了国内外洁净度等级分级标准的定义,强调并规范了现行的各种洁净度等级标识说法。根据国外相关标准,结合国内状况提出了洁净度等级标识符,对标识符合义进行了解释。
洁净度等级分级 基准粒径 粒子浓度限值 标识符 等级标识
郑纯友
中国电子工程设计院
国内会议
长沙
中文
426-432
2007-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
洁净度等级分级 基准粒径 粒子浓度限值 标识符 等级标识
郑纯友
中国电子工程设计院
国内会议
长沙
中文
426-432
2007-10-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)