洁净室质量的保证尘埃颗粒计数仪的检测法规
要想保证洁净室的质量,必须正确地检测洁净室的有关技术指标。洁净室的最主要技术指标是”洁净度”。洁净度的最主要检测仪器是”尘埃颗粒计数仪”。为了保证尘埃颗粒计数仪的测定数据准确可靠,需要制定尘埃颗粒计数仪的检测法规。
洁净室 质量保证 尘埃颗粒计数仪 技术指标检测 洁净度检测 检测法规 国家标准
国内会议
苏州
中文
271-273
2007-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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