一种新的紫外光刻胶成膜树脂的制备及其性能

摘要：

通过两种路线,制备了一种新的聚合物树脂材料聚N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺共N-苯基甲基丙烯酰胺(poly-HPMI-co-PMA)。结果表明：该聚合物是1:1交替共聚的,具有良好的溶解性、成膜性和亲水性,并且其玻璃化温度(Tg)达到280℃。将它与感光剂2,1,5-磺酰氯、助剂二苯甲酮等复配成紫外光刻胶,初步的光刻实验表明,该光刻胶分辨率可以达到5μm左右,并且可以耐265℃的高温。

关键词： 紫外光刻胶 成膜树脂 耐热性 聚合物树脂 N-(P-羟基苯基)马来酰亚胺 N-苯基甲基丙烯酰胺 酰胺-酰亚胺共聚物

作者: LIU Jian-guo LI Ping LI Ping ZHENG Jia-shen

作者单位: 华中科技大学化学与化工系 武汉430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国辐射固化年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 195-199

在线出版日期: 2007-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）