ZnO固态装配型谐振器(SMR)的模拟分析

摘要：

本文利用一维Mason等效电路模型对基于znO的固态装配型谐振器进行了模拟分析。结果表明,采用siO<,2>/Si<,x>N<,y>作为反射栅材料时,当反射栅对数在六对以上时,才能完全抑制来自于衬底谐振的杂散模式。

关键词： 声波谐振器 固态装配 芯片设计 等效电路

作者: 汤亮 郝震宏 乔东海 汪承灏

作者单位: 中国科学院声学研究所,声学微机电实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会2007年青年学术会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 81-82

在线出版日期: 2007-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）