辐照对碳氮薄膜结构和硬度的影响
非晶碳氮薄膜由于具有良好的物理性质而备受关注，在防护涂层、电子学器件以及生物医学等领域有着广阔的应用前景。辐照是常用的材料改性手段之一。本文通过双对向靶直流磁控溅射法制备了非晶碳氮薄膜，并对制备后的样品进行电子束辐照，研究了电子束辐照对薄膜结构和力学性质的影响。结构分析表明。经电子束辐照后，由于薄膜表面处发生氮化和氧化，各氮分压条件下制备的薄膜中氮含量均有不同程度的提高，最大值为25.4％。薄膜表面各元素的价键结构在辐照后有了较大改变。由于电子束对薄膜的电离和位移效应，薄膜内sp<”3>C键被破坏，形成未饱和的sp<”2>C悬键并形成sp<”2>团簇,薄膜更加趋于石墨化。纳米刻痕测试表明，辐照后由于结构的变化使薄膜硬度有所下降。
碳氮薄膜 电子束辐照 薄膜结构 力学性质
肖青平 杨斌 吴萍 郝建钢
天津大学,天津,300192 天津市技术物理研究所
国内会议
天津
中文
161-164
2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）