以PVD钛薄膜为基材阳极氧化制备TiO<,2>纳米孔阵列及其表征

摘要：

采用物理气相沉积(PVD)的方法,以导电玻璃为基材沉积金属Ti薄膜,并将其作为阳极,在1％HF溶液中采用恒压(20V)阳极氧化的方法,制备出了具有纳米孔阵列结构的TiO<,2>薄膜。研究表明,形成的TiO<,2>薄膜具有多孔结构,微孔均为贯穿孔,孔形基本为圆形,孔径均匀,孔径大约为50nm。在15℃溶液中阳极氧化相同时间制备的TiO<,2>氧化膜的厚度显著大于25℃的溶液。TiO<,2>氧化膜的厚度随着阳极氧化时间的延长而增加。

关键词： PVD钛薄膜 阳极氧化 TiO2薄膜 纳米孔阵列 孔结构 制备工艺

作者: 齐艳玲 朱艳兵 刘子庚 王为

作者单位: 天津大学化工学院应用化学系 天津 300072

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年第七届全国转化膜会议暨技术研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 96-99

在线出版日期: 2007-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）