基于不同扩散阻挡层的籽晶铜上电镀孪晶铜初步研究

摘要：

本文采用电镀方法制备具有一定孪晶密度的纯铜样品,并对不同的电镀参数和不同电镀衬底的实验结果进行了初步比较。发现不同的衬底结构对孪晶的产生和密度有很大影响。同时发现W基扩散阻挡层的电镀铜有很强的(111)择优晶向。

关键词： 电镀 孪晶 衬底结构 纯铜

作者: 赵莹 谢琦 屈新萍

作者单位: 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室,复旦大学微电子学系,上海,200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年上海市电子电镀学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 28-31

在线出版日期: 2007-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）