μTAS微通道工艺技术研究

摘要：

本文阐述用光刻、湿法腐蚀和键合等微细加工技术进行微全分析系统中微通道的研制过程。采用SU-8胶和硅材料制作出了作为聚二甲基硅氧烷的母模板。在优质玻璃材料上制作出微通道,并完成微通道的工艺键合。

关键词： 微细加工 光刻 键合 微通道 聚二甲基硅氧烷 母模板

作者: 吴嘉丽 武蕊

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会传感技术第十届学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 103-106

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）