创伤恢复系统压力传感器研制及其温度性能研究

摘要：

本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0KPa～-50KPa硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。文中对通过温度补偿改善该传感器的温度性能研究进行了详细介绍。

关键词： 压力传感器 温度补偿 压力控制 温度性能

作者: 杨梅 于炜

作者单位: 中国空气动力研究与发展中心设备设计及测试技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会传感技术第十届学术年会

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 53-57

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）