Parylene气相沉积涂覆技术及其电子学应用

摘要：

Parylene是60年代中期美国(化工联盟)开发应用的一种新型覆形涂层材料,中文化学名称为聚对二甲苯。Parylene气相沉积涂覆技术是用独特的真空气相沉积工艺制备,由活性小分子在基材表面”生长”出完全覆形的聚合物薄膜涂层,并在工件表面形成厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性的覆形薄膜,并可以涂覆到各种形状的物体表面,包括尖锐的棱边、裂缝里和内表面,涂层薄膜厚度范围在0.1微米至100微米,是目前最有效的防潮、防霉、防盐雾等的三防涂层材料。其优良的防护特性在电子学及航空航天等领域得到了广泛的应用。

关键词： Parylene材料 覆形涂覆技术 三防涂层 气相沉积 聚合物 薄膜 电子学

作者: 张飒爽

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国雷达行业协会航空电子分会暨四川省电子学会航空航天专委会学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 238-240

在线出版日期: 2007-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）