电沉积法制备纳米Ni针锥阵列及其场发射性能的研究

摘要：

采用电沉积方法制备了纳米Ni针锥场发射阵列,通过扫描电子显微镜(SEM)观测了纳米Ni针锥阵列的微观形貌,利用真空场发射测试系统了其场发射性能。测试结果表明纳米Ni针锥阵列具有低的开启电场,为5～6.7V/μm(对应场发射电流1μA)和大的场发射电流,为155～206μA.研究了研究纳米针锥的尺寸和排布对阵列场发射性能的影响.

关键词： 电沉积 场发射性能 纳米针锥 扫描电子显微镜

作者: 李红 凌惠琴 李明 毛大立

作者单位: 上海交通大学材料科学与工程学院微电子材料与技术室

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年上海市电子电镀学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 150-153

在线出版日期: 2007-11-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）