等离子体发生器制备纳米微粒简介

摘要：

介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路，并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。

关键词： 等离子体发生器 化学气相反应法 金属纳米氧化物

作者: 何蓉

作者单位: 北京山川联合纳米科技有限公司，北京密云 101500

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国(西安)纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 221-224

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）