智能型纳米级超精密抛光机的研究

摘要：

研制了一种采用修正环在线修整抛光盘技术及专家数据库系统控制的智能型纳米级超精密抛光机，用于超精密平面抛光。本文介绍了其设计原理、运动模式、专家控制系统的设计与实现，加工结果表明该型抛光机可将加工余量去除误差控制在1nm以下，并获得表面粗糙度小于0.2nm的平面。

关键词： 抛光机 超精密平面抛光 专家数据库 控制系统

作者: 赵萍 袁巨龙

作者单位: 浙江工业大学职教学院，310014，杭州 浙江工业大学机电学院，310014，杭州；杭州智邦纳米技术有限公司，310014，杭州

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届中国(西安)纳米科技研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 212-220

在线出版日期: 2004-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）