基于MEMS的微机械谐振器/滤波器的建模与仿真

本文简述了微机械式谐振器/滤波器的结构及原理,在分析了其主要特征参数后提出了基于LCR滤波器的微机械式滤波器设计方法。并且以此建立微机械式谐振器/滤波器模型。以有限元分析软件ANSYS为工具,对其进行了模态分析,揭示了谐振器的静、动态特性,验证了基于LCR滤波器的微机械式滤波器设计的合理性,有助于提高设计的效率和质量。
LCR滤波器 微机械谐振器 微机械式滤波器
唐孝明 史辉
中国工程物理研究院电子工程研究所,四川 绵阳,621900
国内会议
四川康定
中文
301-305
2007-09-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)