不同工作气体和Ti、Cr对碳膜的摩擦学性能的影响
考察了分别以Ar、N<,2>、CH<,4>作为辅助轰击气体,以及添加Ti、Cr元素对磁控溅射制备碳膜的摩擦磨损性能的影响。应用原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)、纳米显微硬度计(Nano-identation)和Pin-on-disk磨损试验机考察了碳膜的表面形貌和摩擦学性能。结果表明:辅助轰击提高的碳膜的硬度,但与N<,2>和CH<,4>相比,Ar气提高碳膜的硬度和结合强度最为明显。其与GCr15组成摩擦副的摩擦系数<0.25;Cr在碳膜中以单质Cr、CrCx和CrOx的形式存在,正是由于大量单质Cr的存在,降低了碳膜的硬度和摩擦系数;Ti在碳膜中主要形成TiC,由此引起的磨粒磨损增加磨损率;载荷越大,碳膜的摩擦系数越小,磨屑起了关键作用。
磁控溅射 耐磨镀层 碳膜 磨损性能 表面形貌 摩擦系数
杜军 郭永明 赵军军 蔡志海
北京装甲兵工程学院再制造工程系 装备再制造技术国防科技重点实验室,北京 100072
国内会议
武汉
中文
81-86
2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）