分流法超高/极高真空校准装置性能研究

摘要：

分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10<”-10>Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延伸到了10<”-10>Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;校准装置的校准范围为(10<”-4>～10<”-10>Pa,合成标准不确定度为1.5％～3.5％。

关键词： 分流法 超高真空系统 极高真空系统 校准装置

作者: 李得天 郭美如 邱家稳 李正海 成永军 冯焱 张涤新 赵光平 孙海

作者单位: 兰州物理研究所 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空技术学术交流会

会议地点: 河南新乡

会议语种:中文

页码: 160-168

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）