用线性真空规测量小孔分子流流导的方法研究

摘要：

提出了用线性真空规测量小孔分子流流导的方法,该方法利用了线性真空规两次测量压力的比值,避免了真空规测量绝对压力引入的不确定度,从而有效减小了小孔流导的测量不确定度.文章介绍了小孔流导的测量原理、测量装置和测量结果,小孔流导测量的合成标准不确定度为0.29％。

关键词： 小孔流导 测量方法 线形真空规 不确定度

作者: 李得天 郭美如 成永军 邱家稳

作者单位: 兰州物理研究所 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空技术学术交流会

会议地点: 河南新乡

会议语种:中文

页码: 151-155

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）