溅射离子泵开关电源的设计

摘要：

针对溅射离子泵高压电源应具有的负阻特性,本文详细介绍了负阻性DC/DC开关电源控制电路的组成和工作原理。在此基础上,成功研制了一台输出电压根据真空系统气体压力连续自动调节,可短路工作的高压DC/DC开关电源。该电源具有外特性响应好、结构简单和可靠性高等特点。

关键词： 开关电源 溅射离子泵 真空泵

作者: 张余进 邱实

作者单位: 中国科学院上海天文台,上海 200030

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空技术学术交流会

会议地点: 河南新乡

会议语种:中文

页码: 132-137

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）