分子/增压泵抽速测试的实验研究

摘要：

分子/增压泵是新一代分子泵,高压强性能优于现有分子泵,其抽速与现有分子泵相当。本文利用滴管流量计法测量了分子/增压泵的抽速,与理论设计十分接近。同时,推导了滴管流量计液柱上升高度h与时间t、流量Q的关系,由此计算了滴管流量计的最佳测试范围,与实验结果吻合。

关键词： 真空泵 分子泵 增压泵 抽速测试 滴管流量计

作者: 朱武 段献学

作者单位: 合肥工业大学 合肥 230009

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空技术学术交流会

会议地点: 河南新乡

会议语种:中文

页码: 128-131

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）