石英真空计的工作原理

摘要：

石英晶振在谐振时，谐振阻抗与气体压强有关，有人用此关系作真空计，本文对此进行了研究，介绍石英真空计的原理及石英晶振的特性。

关键词： 石英真空计 石英晶振 谐振频率 谐振阻抗 气体压强

作者: 王逊 唐镇松 张云峰

作者单位: 北京大学电子学系,北京 100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空技术学术交流会

会议地点: 河南新乡

会议语种:中文

页码: 115-118

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）