连续式镀膜生产线进片室清洁真空的研究
长期以来,平面基片连续镀膜生产线进片室配置的真空机组中,均以罗茨真空泵为主泵,其油蒸汽对经过和停留于此的清洁基片产生的污染以及派生的不利因素,对膜层质量会产生显性和隐性的负面影响。目前平面基片溅射镀膜领域已形成了巨大的产业化的规模,在国民经济中起到举足轻重的作用,因此这一现象亟待解决.而国内新开发出的新型泵种──分子增压泵,能涵盖罗茨真空泵大部分工作范围,具有优越的中真空抽气性能。它极高的压缩比可以最有效地抑制高分子的油蒸汽分子,从而实现清洁真空.因此用分子/增压泵取代罗茨泵有望从根本上解决这一问题。
连续镀膜生产线 真空机组 分子增压泵 罗茨泵
龚建华 段献学 张永胜 贾庆云
深圳市摩尔真空技术有限公司 深圳 518000 合肥工业大学 合肥 230009 上海西贝光学材料技术有限公司 上海200000
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2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）