新型电阻(金属膜)专用镀膜机的研制

摘要：

新型磁控溅射电阻镀膜机是在同一台设备上能制作出中、低和高阻值金属膜电阻的专用设备。文章主要是对它的结构及设计核心部分进行了论述,并将研制中的一些数据和关键部分作以阐明。

关键词： 金属膜 电阻镀膜 镀膜机

作者: 马铁明 闫正宇 董丽娜 王春东

作者单位: 锦州航星集团有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空技术学术交流会

会议地点: 河南新乡

会议语种:中文

页码: 86-88

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）