高真空快速抽气方法的实验研究
随着真空技术的发展,真空获得设备也取得了长足的进步。从目前看,分子泵是获取高真空的主要设备。传统的涡轮分子泵在高速运行时,若承受大气冲击,会造成叶片严重损害.而且其最高连续工作压强仅1Pa左右,无法解决100～1Pa压强范围内的严重返油问题。由深圳市摩尔真空技术有限公司研制成功并完成产业化的新一代分子泵──分子/增压泵,在继承分子泵大压缩比、高抽速的优点基础上,具有优良的中高真空性能,引起业内关注。本文利用分子/增压泵优良的高压强性能,研究如何采用合理的抽气工艺,快速的实现高真空。
真空泵 快速抽气 高真空获得设备 抽气工艺
段献学 龚建华 储继国 张永胜
合肥工业大学,合肥 230009 深圳大学,深圳 518060
国内会议
河南新乡
中文
40-43
2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）