动态加载往复摩擦磨损试验对薄膜检测的应用研究

摘要：

本文应用变加载往复摩擦磨损试验仪，对喷涂膜、气相沉积薄膜、电镀薄层等做定量评价。现有的一些对薄膜(包括装饰膜)的评价方法只能对单一的摩擦磨损指标进行评价，而变加载往复摩擦磨损试验可以相对综合地反应一般工况条件下的摩擦磨损状态，并对摩擦系数、磨损率、膜的使用寿命等各项指标进行量化。该试验仪也可用于定载荷摩擦试验。

关键词： 真空镀膜 球盘摩擦 动态加载 气相沉积薄膜 定载荷摩擦试验

作者: 华敏奇 袁镇海 于德洋 张莎莎

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所 兰州 730000 广州有色金属研究院 广州 510651 兰州中科凯特科工贸有限公司 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 107-112

在线出版日期: 2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）