离子镀的等离子体鞘层效应与镀膜均匀性

摘要：

本文分析了在离子镀膜中工件的几何形状与其表面等离子鞘层的关系，不规则的几何形状引起鞘层“畸変”，因而改変了荷电粒子对相应表面的入射角和沉积量，这必然导致沉积的不均匀性。讨论了在直角、尖角、沟槽、窄缝、深盲孔的等离子体鞘形状及其对膜层均匀性的影响。

关键词： 离子镀膜 膜层厚度 镀膜均匀性 等离子体鞘层 鞘层畸変

作者: 袁镇海

作者单位: 广州有色金属研究院 广州 510651

会议类型: 国内会议

会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 99-106

在线出版日期: 2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）